$ASML смотрит за пределы EUV, чтобы захватить большую долю в строительстве чипов для ИИ, включая новые инструменты для продвинутой упаковки (связка/подключение чиплетов и стеклянных чипов). ASML также исследует способы печати более крупных чипов, чем сегодняшние "марочные" ограничения, и использует ИИ для ускорения программного обеспечения управления машинами и инспекции.